QMEMS是什么意思

QMEMS是由具有高穩定、高精度等優越特征的石英材料“QUARTZ”和“MEMS”（精微加工技術）組成的合成詞。與以半導體為材料的MEMS相對應，以石英為 原料進行精微加工，提供小型化、高性能的晶體元器件被稱為“QMEMS”。 QMEMS是愛普生拓優科夢（Epson Toyocom）的注冊商標。